日中両国の半導体業界交流の最中:JSR(日本合成ゴム株式会社)とESPEC(エスペック)を視察

「日中次世帯製造エコシステム・フォーラム China EcoSystem 2019」が閉幕した後、5月31日、今回の中国半導体企業代表団(以下、「代表団」という)一行は、まず東京都汐留住友ビルにあるJSR本社を視察しました。

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JRS(日本合成ゴム株式会社)は1957年に設立され、初期の製品は主にタイヤ用合成ゴム材料です。60数年の発展を経て、JSRの製品は現在、半導体製造材料、ディスプレイ材料、また、医療分野で使用される医療用材料、環境およびエネルギー分野を網羅しています。

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大規模集積回路の製造において、フォトリソグラフィおよびエッチング技術は、チップの最小フィーチャサイズを決定する微細回路パターンの加工において最も重要なプロセスであり、チップ製造時間の40~50%を占めます。フォトレジストは、フォトリソグラフィプロセスが選択的エッチングを可能にする重要な材料です。フォトレジスト技術の障壁は高く、グローバル半導体業界におけるフォトレジスト材料に関するコア技術は、主に日本企業とアメリカ企業によって独占されており、市場シェアは併せて95%を占めますが、JSRはその中のリード企業です。


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現場を視察し、双方は深い交流を行いました。JSRのEUVフォトレジストがすでに量産および供給を実現しており、さらにエッジ計算を用いたフィルム材料について積極的に研究開発を行っているということです。JSRとIMEC(ベルギーの大学間マイクロエレクトロニクス・センター)は、20数年の深い協力関係を維持しており、その技術は常にリーディングポジションを確保しています。JSRが業界リード企業の要となれるかと問われると、JSRの日本側代表は、川上・川下間の安定した供給品質、生産管理の高品質運営を長期にわたって維持できることがJSRの基盤であり、高品質量産を維持して、お客様の利益を確保すると述べました。

交流終了後、代表団はJSRにIC珈琲が作成する「中国大陸8″/12″ウエハー工場分布図」を贈呈しました。


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その後、代表団は宇都宮市に行き、ESPEC(エスペック)の試験所を視察しました。

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ESPEC(エスペック)は1947年に設立され、70数年来、環境信頼性試験機器の研究開発、製造および販売に努め、主な製品には恒温(恒湿)槽、熱風乾燥機、恒温乾燥機、小型恒温槽などを含み、さらに、各種の環境試験総合問題のソリューションも提供しています。


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ESPECの環境試験は、温湿度、腐食、光の照射、塵埃などの諸分類をカバーしています。また、さらに高電流、高パルスの充放電測定、および過充電、過放電の限界試験を行うことができます。試験過程では、帯電+制御+冷却回路の同時シミュレーションを実現することができ、試験環境をより現実の環境に近づけることができます。ESPECはまた、極端な試験を行うことができる、消防システム、排水排ガス浄化システムを備えた実験室を配備していました。双方はデバイスエージェント、試験データ分析方法などについて掘り下げて討議しました。


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今回の視察交流を通じて、代表団は日本企業の着実かつ厳密な仕事の仕方や、細部にわたり卓越性を追求する姿勢に深く感心しました。現在、中国の半導体産業が次々に台頭するマクロ環境下では、日中双方の同業企業にさらに多くの協力の機会があると考えられます。


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今回の交流団は、IC珈琲と実邑文化(VERYDIGI)の共同企画によって組織されたもので、「日中次世帯製造エコシステム・フォーラム China EcoSystem 2019」への参加、業界リード企業の視察および日本の深い文化体験を含めた行程となっています。東京エレクトロン、KOKUSAI、アドバンテスト、安川電機、東京精密、キーエンス、ディスコ、信越化学などの企業代表と交流を行いました。我々は引き続き、関連の交流活動を計画、組織し、さらに、企業のニーズに応じて、技術専門家、ビジネス交流および投融資などのサービスを展開していきます。皆さん、ぜひご注目ください。ありがとうございました。


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